VeraSpec Trace APIMS

VeraSpec Trace APIMS

Das Extrel Atmosphärendruck-Ionisations-Massenspektrometer (APIMS) wurde entwickelt, um zuverlässige und wiederholbare Nachweisgrenzen für Gasverunreinigungen im niedrigen Promillebereich zu haben.
Das VeraSpec™ Trace-System ist seit über fünfundzwanzig Jahren die erste Wahl für die Analyse von ultrahochreinen (UHP) Gasverunreinigungen und Studien zur Spurenverschmutzung.

Das VeraSpec™ Trace wurde um unseren hochtransmissiven 19-mm-Quadrupol-Massenfilter herum entwickelt und mit unserer bewährten DC-Corona-Entladungsquelle für maximale Empfindlichkeit kombiniert. Es ist mit verschiedenen Massenbereichen von 1 bis 4000 amu erhältlich, um Ihrer Anwendung gerecht zu werden.

Die Analyse von Verunreinigungen in reinen Gasen im Spurenbereich ist eine kritische Fähigkeit bei der Entwicklung und Implementierung von Halbleiter- und anderen industriellen Hochtechnologieanwendungen. Die Atmosphärendruck-Ionisations-Massenspektrometrie (API-MS) hat sich zu einem wichtigen Werkzeug für die Analyse reiner Gase entwickelt und ermöglicht die Erkennung bestimmter Verunreinigungen in reinen Gasen auf Teil-per-Trillion (ppt)-Ebene. Für andere Verunreinigungen, für die API keine brauchbare Technik ist, kann die Elektronenstoß-Ionisations-Massenspektrometrie (EI) zur Ergänzung der Analyse verwendet werden. In einigen Fällen kann die Membraneinleitungs-Massenspektrometrie (MIMS) mit einer EI-Quelle für einige Komponenten Nachweisgrenzen im Sub-Per-Billion-Bereich (ppb) liefern. Das VeraSpec™ Trace von Extrel hat die einzigartige Fähigkeit, diese Techniken in einem einzigen Gerät zu kombinieren.

SYSTEMSPEZIFIKATIONEN

Nachweis-Grenzwerte

  • 5 ppt Sauerstoff und Stickstoff
  • 5 ppt H2O in Stickstoff
  • 5 ppt CO2 in Stickstoff 

Massebereich

  • 1-500 amu; andere Massenbereiche auf Anfrage erhältlich 
Stabilität 
  • Besser als +/- 0,1 amu nach thermischem Gleichgewicht
  • Langzeitstabilität +/- 0,01 amu 
Ionisationsquelle
  • Koronaentladung mit zusätzlichem EI-Faden 
Massenfilter
  • Einzelner 19 mm (3/4″) Stab-Tri-Filter-Quadrupol oder Triple-Tri-Filter-Quadrupol-Massenfilter für MS/MS verfügbar 
Detection
  • Positive and negative ions using electron multiplier with continuous dynode 
Masses
  • Continuous monitoring of up to 20 masses or mass windows. Additional masses or mass ranges can be added using easy-to-write Macros 
Data System
  • Merlin Automation Data System Software with Windows 7 or 10 compatibility 
Vacuum System
  • Deferentially pumped using turbomolecular drag pumps backed by oil rough pump; dry diaphragm backing pump optional 
Power Requirements
  • 115 Vac, 50/60 Hz, two 20 A circuits; optional 220 VAC version

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Extrel CMS, LLC 
575 Epsilon Drive
Pittsburgh, PA 15238
USA