VeraSpec Trace APIMS
Das Extrel Atmosphärendruck-Ionisations-Massenspektrometer (APIMS) wurde entwickelt, um zuverlässige und wiederholbare Nachweisgrenzen für Gasverunreinigungen im niedrigen Promillebereich zu haben.
Das VeraSpec™ Trace-System ist seit über fünfundzwanzig Jahren die erste Wahl für die Analyse von ultrahochreinen (UHP) Gasverunreinigungen und Studien zur Spurenverschmutzung.
Das VeraSpec™ Trace wurde um unseren hochtransmissiven 19-mm-Quadrupol-Massenfilter herum entwickelt und mit unserer bewährten DC-Corona-Entladungsquelle für maximale Empfindlichkeit kombiniert. Es ist mit verschiedenen Massenbereichen von 1 bis 4000 amu erhältlich, um Ihrer Anwendung gerecht zu werden.
Die Analyse von Verunreinigungen in reinen Gasen im Spurenbereich ist eine kritische Fähigkeit bei der Entwicklung und Implementierung von Halbleiter- und anderen industriellen Hochtechnologieanwendungen. Die Atmosphärendruck-Ionisations-Massenspektrometrie (API-MS) hat sich zu einem wichtigen Werkzeug für die Analyse reiner Gase entwickelt und ermöglicht die Erkennung bestimmter Verunreinigungen in reinen Gasen auf Teil-per-Trillion (ppt)-Ebene. Für andere Verunreinigungen, für die API keine brauchbare Technik ist, kann die Elektronenstoß-Ionisations-Massenspektrometrie (EI) zur Ergänzung der Analyse verwendet werden. In einigen Fällen kann die Membraneinleitungs-Massenspektrometrie (MIMS) mit einer EI-Quelle für einige Komponenten Nachweisgrenzen im Sub-Per-Billion-Bereich (ppb) liefern. Das VeraSpec™ Trace von Extrel hat die einzigartige Fähigkeit, diese Techniken in einem einzigen Gerät zu kombinieren.
