VeraSpec Molekularstrahl- und Plasma-Analyse-Systeme
VeraSpec Molekularstrahl- und Plasma-Analyse-Systeme
Die VeraSpec™ Molekularstrahl-Massenspektrometriesysteme von Extrel sind für die stabile, genaue und hochempfindliche Analyse von Prozessen von 10-4 Torr bis zu und über Atmosphärendruck ausgelegt. Die Systeme umfassen ein komplettes Quadrupol-Massenspektrometersystem, ausgestattet mit kompletter Software, Probenahmesystem und Probenahmeblende(n). Das rauscharme Rechtwinkeldesign kann sowohl Energie- als auch Massenanalysen durchführen.
Die Molekularstrahlsysteme und Plasma-Analysesysteme von Extrel sind in Massenbereichen von 0,5 – 50 Da bis 20 – 14.000 Da erhältlich und bieten eine breite Palette an Optionen.
Die VeraSpec™ Molekularstrahlsysteme verwenden Massenspektrometer der MAX-Serie. Diese Produkte sind in verschiedenen Konfigurationen erhältlich, z. B. nur mit Probenahmekammern und Massenspektrometer oder als Komplettsysteme, die die Vakuumsysteme und das Montagegestell enthalten. Das MAX kann auch in bestehende Systeme integriert werden, um den Kundenanforderungen gerecht zu werden.
Die Leistungsfähigkeit der Massenspektrometrie als Analysetechnik ist allgemein bekannt, und Massenspektrometer werden in großem Umfang für die Restgasanalyse eingesetzt. Für Proben, die nicht als Restgas in der Vakuumkammer des Massenspektrometers enthalten sind, muss jedoch eine effektive Probenahmeanordnung verwendet werden. Die Molekularstrahl-Probenahme ist eine effektive Möglichkeit, neutrales Gas oder vorgeformte Ionenproben über einen weiten Bereich von Probenbedingungen einzubringen. Es stehen drei Molekularstrahlsysteme zur Verfügung, um den unterschiedlichsten Anwendungsanforderungen gerecht zu werden: VeraSpec MB2, VeraSpec MB3 und VerSpec MBx. Bei den Systemen MB2 und MB3 handelt es sich um 2- bzw. 3-stufige Molekularstrahleinlasssysteme, die für die Analyse von Neutralen oder Ionen von 2 mTorr bis zu 2 atm ausgelegt sind. Diese Systeme sind ideal für die Plasmadiagnostik, die chemische Gasphasenabscheidung und andere ähnliche Anwendungen. Das MBx-System ist ein 3-stufiges, diskret gepumptes Gasanalysesystem für extreme Proben. Alle Systeme können für einen noch breiteren Bereich von Probenbedingungen modifiziert werden.
Empfohlene Spannungsversorgung
Umgebungstemperatur
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