Die Membraneinlass-Massenspektrometrie (MIMS) ist ein leistungsstarkes Werkzeug für die Ultraspuren-Detektion. Der Membraneinlass von Extrel wurde für die Verwendung mit MAX300-AIR-, MAX300-LG- und VareSpec-Systemen entwickelt und bietet die ultimative Empfindlichkeit für die Detektion niedriger Konzentrationen.
Die Anwendungen umfassen:
- Ultraspuren-VOC-Detektion
- Arbeitssicherheit und Compliance
- Umgebungsluft-Analyse
- Gasreinheitsanalyse
- Überwachung von kontrollierten Umgebungen
- Halbleiterfertigung
Der Membraneinlass verwendet ein Silikonmaterial, um VOCs relativ zur Luft in der Probe zu konzentrieren. Ein MAX300 mit dem Membraneinlass hat die Empfindlichkeit, niedrige ppt-Verunreinigungen zu messen.
Beispiele:
- Der Standard-LDL für Benzol und Pyrrol verbessert sich von 10 ppb auf 10 ppt
- Der Standard-LDL für VCM verbessert sich von 20 ppb auf 2 ppb