Extrel RGA

Der Extrel RGA ist ein zuverlässiger, einfach zu bedienender Restgasanalysator, der eine Druckmessung über den gesamten Bereich beinhaltet. Er ist der leistungsstärkste RGA zu einem erschwinglichen Preis, was das System zu einer idealen Wahl für Hintergrundgasanalysen, Lecksuche und Vakuumkammercharakterisierung macht. 

Der Extrel RGA ist in zwei (2) Massenbereichen erhältlich, 1 bis 100 amu oder 1 bis 300 amu. Das System wird standardmäßig mit einem Faraday-Detektor oder einem optionalen dualen Faraday/Elektronischen Multiplikator-Detektor geliefert. 

Der Extrel RGA nutzt die RS-232C- oder USB-Kommunikation mit den Betriebssystemen Windows® XP oder 7. Die Software ist leistungsstark und einfach zu bedienen. 

Der RGA100 und der RGA300 sind die ultimativen RGA-Messsonden. Ein einziges Gerät, montiert auf einem 2-3/4″-Zoll-Flansch, enthält ein Pirani-Messgerät, ein Ionenmessgerät und einen Quadrupol-Massenanalysator. Ein intelligentes Start-up-Design sorgt dafür, dass das System weiß, wann es vom Pirani auf das Ionenmessgerät und schließlich auf das Quadrupolsystem umschalten muss. Alle Extrel-Modelle beginnen bei 1 amu. Der RGA100 geht bis 100 amu und der RGA300 geht bis 300 amu. 

Langlebige Doppelfilamente und die Ionenquellen-Kits 

Zwei thoria-beschichtete Filamente werden für die Elektronenemission sowohl für den Quadrupol- als auch für den Ionenmessbetrieb verwendet. Die Filamente werden sowohl durch die Ionen- als auch durch die Pirani-Funktion vor Belastungen durch Vakuum-Exkursionen geschützt. Unser RGA wird die Filamente in konventionellen RGA-Einheiten überdauern. Wenn ein Filament irgendwann durchbrennt, ermöglicht das zweite Filament den normalen Betrieb, bis die Filamente ersetzt werden.

Ultra-empfindliche Detektion 

Die RGA-Geräte sind standardmäßig mit einem Faraday-Cup-Detektionssystem ausgestattet. Mit dem Faraday-Becher allein können Partialdruckmessungen von 10-4 und 10-11 torr vorgenommen werden. Mit der Multiplikator-Option wird diese Empfindlichkeit auf bis zu 5 x 10-14 Torr erweitert. Der neuartige Ionenstromverstärker detektiert Ionenströme von 10-6 bis 10-15 Ampere in einem einzigen Scan. Dieser enorme Dynamikbereich ermöglicht es, dass sehr große und sehr kleine Peaks in einem Scan nebeneinander bestehen können. 

SYSTEMSPEZIFIKATIONEN

Massebereich

  • RGA100(M) 1 bis 100 amu RGA300(M) 1 bis 300 amu 

Massenfilter Typ

  • Quadrupol

Detektor Typ

  • Faradayscher Becher 

Auflösung

  • Größer als 0,5 amu bei 10 % Peakhöhe. Einstellbar auf konstante Peakbreite über den gesamten Massenbereich. 

Empfindlichkeit (A/Torr)

  • 5×10-4 in Faraday-Cup gemessen mit N2 bei 28 amu mit 1 amu voller Peakbreite, 10% Höhe, 70 eV Elektronenenergie, 6 eV Ionenenergie und 2 mA Elektronenemissionsstrom. Der Multiplikatorbetrieb addiert einen Faktor von etwa 1000. 

Minimaler nachweisbarer Partialdruck:

  • 10-11 torr gemessen mit N2 bei 28 amu mit 1 amu voller Peakbreite, 10% Höhe, 70 eV Elektronenenergie, 6 eV Ionenenergie und 2 mA Elektronenemissionsstrom. Mit Multiplikator liegt dieser Nachweis bei 5 x 10-14 torr. 

Betriebsdruck

  • Atmosphäre bis UHV (Ionenmessgerätebetrieb unter 10-1 Torr und RGA-Betrieb unter 10- 4 Torr) 

Maximale Betriebstemperatur

  • 50°C 

Ausheiztemperatur

  • 300°C (ohne CCU) 

Gesamtdruckmessung

  • Verfügbar in den Betriebsarten Pirani, BA und RGA 

Ionisator-Design

  • Offene Ionenquelle, Elektronenstoßionisation 

Materialien nachweisen

  • SS304, Kovar, Wolfram, Aluminiumoxid, Iridium, Kupfer, Nickel 

Filament

  • Doppeltes thoria-beschichtetes Iridium mit Firmware-Schutz. Eingebaute 1 bis 30 W Entgasungsrampe. Entwickelt für den Austausch vor Ort 

Elektronen-Energie

  • 40 bis 150 V, programmierbar 

Ionen-Energie

  • 3 bis 10 V, programmierbar 

Elektronenemissionsstrom

  • 0,2 bis 5 mA, programmierbar Sondenabmessung: 6,7″ von der Flanschfläche bis zur Oberseite des Ionisators 

CCU-Erweiterung

  • 5,5″ von Flanschfläche 

Minimum Tube I.D.

  • 1,375″ Sondenmontage 

Flansch

  • 2.75” CF 

CCU Abmessungen

  • 3,3″ x 4,8 „x 7,5“. Leicht von der Sonde zum Ausheizen zu trennen 

Aufwärmzeit

  • Massestabilität ±0,1 amu nach 30 Minuten 

Computer-Schnittstelle

  • RS-232C, bis zu 115.200 Baud Software Windows® NT, 2000, XP basierte Anwendung. Benötigt Pentium oder besser 

Energiebedarf

  • 24 VDC @ 2,5 Ampere. Standard 120/240 VAC Adapter mitgeliefert 

Gewicht

  • 5 lb

Sie haben Fragen? Wir sind hier, um zu helfen.

Extrel CMS, LLC 
575 Epsilon Drive
Pittsburgh, PA 15238
USA

Members of Process Insights, Inc.

Copyright © 2022 Process Insights, Inc.  All Rights Reserved.