Wirkungsgrad des Scrubbers / der Brennkammer

Wirkungsgrad des Scrubbers / der Brennkammer

Für Halbleiterhersteller ist die Überwachung der Zerstörungs- und Beseitigungseffizienz (Destruction and Removal Efficiency, DRE) von gefährlichen Luftschadstoffen (HAPs) und Treibhausgasen immer wichtiger geworden, da Gesetze (angetrieben durch das öffentliche Bewusstsein und globale Vereinbarungen wie das Kyoto-Protokoll) und lokale Verschmutzungsvorschriften deutlich verschärft wurden. Diese strengen Normen beinhalten oft erhöhte Strafen für die Emission einer Vielzahl von Verbindungen, darunter HAPs, halogenierte flüchtige organische Verbindungen (HVOCs), Treibhausgase, Blei und Germanium. Eine Möglichkeit, die Massenspektrometersysteme von Extrel zur Unterstützung der Bemühungen um die Reduzierung von Emissionen und die Einhaltung der geltenden Vorschriften einzusetzen, ist die Überwachung der Effizienz von Abgasreinigungssystemen. Die Analyse ermöglicht eine effiziente Entwicklung und Überwachung von Systemen wie z. B. Scrubber Burn Boxes, die zur Reduzierung von brennbaren Gasen eingesetzt werden.

Extrel bietet verschiedene hochempfindliche Massenspektrometer und Restgasanalysesysteme an, um diese Anforderungen zu erfüllen.

Die flanschmontierten Massenspektrometer von Extrel bieten hohe Empfindlichkeit und Auflösung mit einer Vielzahl von Massenbereichen, die Ihren Anforderungen entsprechen. MAX300-IG™ Prozessgasanalyse-Massenspektrometer und MAX300-LG™ Laborgasanalyse-Massenspektrometer bieten Analysen von 100 % bis hinunter zu 10 Teilen pro Milliarde (ppb) mit unübertroffener Genauigkeit und Wiederholbarkeit.

System-Spezifikationen

Die Produktspezifikationen umfassen:

  • Hohe Empfindlichkeit bis 6 mA/Torr
  • Hohe Auflösung bis 110 M bei m/z 28
  • Partialdruck-Detektierbarkeit bis 10-16 mbar
  • Nachweisgrenzen von 10 ppb bis 100 %
  • Verschiedene Massenbereiche von 2-250 und 2-1000 amu
  • Positiv- und Negativ-Ionen-Detektion
  • Korrosive und gefährliche Gaspakete
  • Probenahme von mehreren Standorten

Extrel ist seit über 45 Jahren der weltweit führende Anbieter von Massenspektrometern und Restgasanalysatoren.

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