Anwendungen für Plasmaätzung, chemische Gasphasenabscheidung (CVD) und plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD) erfordern ein gründliches Verständnis der komplexen chemischen Vorgänge in den Prozessen. Ebenfalls entscheidend für die Prozesse ist die Fähigkeit zur Überwachung von Low-Level-Komponenten.

Für Plasmaanwendungen wählen Wissenschaftler die Extrel MAX und MAX-LT™ Flansch-Massenspektrometer. Diese Detektionssysteme bieten hohe Leistung und Geschwindigkeit mit der Fähigkeit, Energieanalysen durchzuführen. Hohe Empfindlichkeit und hohe Abundanzempfindlichkeit ermöglichen die Überwachung von Komponenten mit sehr niedrigem Partialdruck innerhalb eines hohen Hintergrunds. Es können auch Ionen, Radikale und Neutrale gemessen werden. Das Plasma-Analyse-System von Extrel kann mit Prozessen bis zu Atmosphärendruck arbeiten.