MBE-Überwachung

MBE-Überwachung

Die Analyse der Molekularstrahlepitaxie (MBE) erfordert den Einsatz eines Massenspektrometers mit sehr hoher Empfindlichkeit und rauscharmer Elektronik, um nicht nur die niedrige Flussrate mehrerer Molekularstrahlen zu überwachen, sondern auch eine Ultrahochvakuum (UHV)-Restgasanalyse der Kammer durchzuführen.

Die Extrel MAX und MAX-LT™ Flansch-Massenspektrometer erfüllen beide Anforderungen an hohe Empfindlichkeit und rauscharme Elektronik. Diese Systeme können Partialdrucke bis hinunter zu 10-16 mbar detektieren und ermöglichen es dem Benutzer, Signale mit nur 3 Zählungen pro Sekunde visuell zu erkennen.

Mit dem VeraSpec MBMS steht zudem ein attraktives schlüsselfertiges System zur Verfügung, das an die MBE-Kammer angeschlossen werden kann.

 

Die MAX-Produktlinie von Extrel für die Molekularstrahlepitaxie umfasst:

  • Kreuzstrahldeflektor Ionisator
  • MAX-Massenspektrometer mit Flanschmontage
  • MAX-LT flanschmontierte Massenspektrometer
  • VeraSpec MBMS-Systeme

Weitere Informationen zum Thema MBE finden Sie im Folgenden:

  • Erscheinungsformen von Potentialen
  • Verwendung von Quadrupolen mit Hochspannungsionenquellen

System-Spezifikationen

Die flanschmontierten Massenspektrometer MAX und MAX-LT messen:

  • Hohe Empfindlichkeit bis 6 mA/Torr
  • Hohe Auflösung bis 110 M bei m/z 28
  • Partialdruck-Detektierbarkeit bis 10-16 mbar
  • Niedrigsignalmessung von < 3 cps
  • Hohe Abundanz Empfindlichkeit bis 107
  • Verschiedene Massenbereiche von 1-60 bis 2-2000 amu
  • Axiale und rechtwinklige Konfigurationen
  • Positive und negative Ionen- und Neutraldetektion

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