Gasreinheit

Gasreinheit

Halbleiter, Gasversorger und optische KomponentenExtrel APIMS with Touchscreen
Die Verarbeitung erfordert eine Gasanalyse, um Verunreinigungen in den für den Produktionsprozess verwendeten Gasen zu erkennen. Andere Industrien, wie die Stahl- und Pharmaherstellung, benötigen eine Bestätigung der korrekten Gasmischungen für verschiedene Prozesse. Die Gasanalysesysteme von Extrel bieten Instrumente mit dynamischem Bereich und niedrigen Nachweisgrenzen von Teilen pro Milliarde (ppb) und Teilen pro Billion (ppt), um die Anforderungen an die Gasreinheit und die kontinuierliche Atmosphärenanalyse zu erfüllen.

Die Gasanalysesysteme der MAX300-Serie von Extrel sind die bevorzugten Produkte für Gasreinheitsanwendungen mit Nachweisgrenzen im ppb-Bereich. Das VeraSpec Trace vereint die analytischen Fähigkeiten einer Reihe von Extrels besten Technologien für die Spurengasanalyse in einem Gerät, einschließlich Atmosphärendruck-Ionisations-MS (APIMS), hochempfindlicher Elektronenstoß-Ionisation mit geschlossener Quelle (EI) und Membraneinlass-Massenspektrometrie (MIMS). Die DC-Corona-Entladungsquelle ist eine chemische oder weiche Ionisationsquelle, die ideal für die Überwachung von Molekülen im niedrigen ppt-Bereich ist. Um das System zu einem umfassenderen Forschungswerkzeug zu machen, kann das System mit MS/MS-Fähigkeit konfiguriert werden, was die Möglichkeit bietet, Komponenten durch die Betrachtung der Tochterionen eindeutig zu identifizieren. Dies macht das VeraSpec Trace zu einem der leistungsfähigsten MS-Systeme für die Forschung.

System-Spezifikationen

Die Spezifikationen der MAX-Serie von Extrel umfassen:

  • Nachweisgrenzen von 10 ppt – 100%
  • Verschiedene Massenbereiche von 0,5 – 50 bis zu 10 – 4000 amu
    • Siehe MAX-QMS-Produkthinweis für Optionen zum Massenbereich
  • Positiv- und Negativ-Ionen-Detektion
  • Pakete für korrosive und gefährliche Gase

Sie haben Fragen? Wir sind hier, um zu helfen.

Extrel CMS, LLC 
575 Epsilon Drive
Pittsburgh, PA 15238
USA

Members of Process Insights, Inc.

Copyright © 2022 Process Insights, Inc.  All Rights Reserved.