Restgasanalysatoren (RGA), die zur Identifizierung von Gasen in Vakuumumgebungen eingesetzt werden, sind weltweit in Forschungslabors und industriellen Verarbeitungsanlagen im Einsatz.

Extrel bietet drei Stufen von RGA-Systemen an.  Vom Extrel RGA, einem kleinen, preiswerten traditionellen RGA-System, über das MAX-LT, ein mittelgroßes RGA-System, das für bestehende Kammern gedacht ist und einen höheren Massenbereich und eine höhere Empfindlichkeit bietet, bis hin zu unseren MAX-Systemen, die eine hohe Empfindlichkeit und Auflösung bieten und eine Vielzahl von Massenbereichen zur Verfügung stellen, die Ihren Anforderungen entsprechen. Unsere MAX-QMS-Serie ist in der Lage, Nachweisgrenzen von 10 Teilen pro Milliarde (ppb) bis 100 % zu erreichen, mit unübertroffener Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der Probenahme bei Atmosphärendruck.

Die Restgasanalysatoren und Massenspektrometer von Extrel werden eingesetzt, um:

• Suchen Sie nach Verunreinigungen in Halbleiterprozessanlagen
• Suche nach Gasen, die von den Wänden von Ultrahochvakuum (UHV)-Kammern desorbieren
• Produkt-Charakterisierung
• Überwachen Sie den Kopfraum von Fermentern
• Prüfen Sie auf mögliche Lecks in Vakuumöfen

Die Produktlinie von Extrel für Gasanalyseanwendungen umfasst:

• Extrel-Restgas-Analysatoren – (GP-114)
• MAX-Flansch-MS-Systeme – (GP-110)
• MAX-LT™ flanschmontierte
• Massenspektrometer – (GP-112)
• MAX300-LG™ Gasanalysesystem – (GP-210)
• MAX300-IG™ Gasanalysesystem – (GP-212)