Restgasanalysatoren (RGA), die zur Identifizierung von Gasen in Vakuumumgebungen eingesetzt werden, sind weltweit in Forschungslabors und industriellen Verarbeitungsanlagen im Einsatz.
Extrel bietet drei Stufen von RGA-Systemen an. Vom Extrel RGA, einem kleinen, preiswerten traditionellen RGA-System, über das MAX-LT, ein mittelgroßes RGA-System, das für bestehende Kammern gedacht ist und einen höheren Massenbereich und eine höhere Empfindlichkeit bietet, bis hin zu unseren MAX-Systemen, die eine hohe Empfindlichkeit und Auflösung bieten und eine Vielzahl von Massenbereichen zur Verfügung stellen, die Ihren Anforderungen entsprechen. Unsere MAX-QMS-Serie ist in der Lage, Nachweisgrenzen von 10 Teilen pro Milliarde (ppb) bis 100 % zu erreichen, mit unübertroffener Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der Probenahme bei Atmosphärendruck.
Die Restgasanalysatoren und Massenspektrometer von Extrel werden eingesetzt, um:
- Suchen Sie nach Verunreinigungen in Halbleiterprozessanlagen
- Suche nach Gasen, die von den Wänden von Ultrahochvakuum (UHV)-Kammern desorbieren
- Produkt-Charakterisierung
- Überwachen Sie den Kopfraum von Fermentern
- Prüfen Sie auf mögliche Lecks in Vakuumöfen
Die Produktlinie von Extrel für Gasanalyseanwendungen umfasst:
- Extrel-Restgas-Analysatoren – (GP-114)
- MAX-Flansch-MS-Systeme – (GP-110)
- MAX-LT™ flanschmontierte
- Massenspektrometer – (GP-112)
- MAX300-LG™ Gasanalysesystem – (GP-210)
- MAX300-IG™ Gasanalysesystem – (GP-212)