Restgasanalyse

Restgasanalyse

Restgasanalysatoren (RGA), die zur Identifizierung von Gasen in Vakuumumgebungen eingesetzt werden, sind weltweit in Forschungslabors und industriellen Verarbeitungsanlagen im Einsatz.

Extrel bietet drei Stufen von RGA-Systemen an.  Vom Extrel RGA, einem kleinen, preiswerten traditionellen RGA-System, über das MAX-LT, ein mittelgroßes RGA-System, das für bestehende Kammern gedacht ist und einen höheren Massenbereich und eine höhere Empfindlichkeit bietet, bis hin zu unseren MAX-Systemen, die eine hohe Empfindlichkeit und Auflösung bieten und eine Vielzahl von Massenbereichen zur Verfügung stellen, die Ihren Anforderungen entsprechen. Unsere MAX-QMS-Serie ist in der Lage, Nachweisgrenzen von 10 Teilen pro Milliarde (ppb) bis 100 % zu erreichen, mit unübertroffener Genauigkeit und Wiederholbarkeit bei der Probenahme bei Atmosphärendruck.

Die Restgasanalysatoren und Massenspektrometer von Extrel werden eingesetzt, um:

  • Suchen Sie nach Verunreinigungen in Halbleiterprozessanlagen
  • Suche nach Gasen, die von den Wänden von Ultrahochvakuum (UHV)-Kammern desorbieren
  • Produkt-Charakterisierung
  • Überwachen Sie den Kopfraum von Fermentern
  • Prüfen Sie auf mögliche Lecks in Vakuumöfen

Die Produktlinie von Extrel für Gasanalyseanwendungen umfasst:

  • Extrel-Restgas-Analysatoren – (GP-114)
  • MAX-Flansch-MS-Systeme – (GP-110)
  • MAX-LT™ flanschmontierte
  • Massenspektrometer – (GP-112)
  • MAX300-LG™ Gasanalysesystem – (GP-210)
  • MAX300-IG™ Gasanalysesystem – (GP-212)

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