Die Evolved Gas Analysis (EGA) ist die Analyse des Abgases von Analysegeräten und chemischen Prozessen. Das MAX300-EGA verfügt über die Geschwindigkeit und Empfindlichkeit, um selbst kleine Veränderungen im Abgas zu erkennen, sobald sie auftreten.

Die Verarbeitung von Halbleitern, Gaslieferanten und optischen Komponenten erfordert eine Gasanalyse zum Nachweis von Verunreinigungen in den für den Produktionsprozess verwendeten Gasen. Die Gasanalysesysteme von Extrel bieten Instrumente mit dynamischem Bereich und niedriger parts per billion (ppb) und parts per trillion (ppt) Detektion.

Die MAX50™ und MAX120™ flanschmontierten Massenspektrometer von Extrel wurden speziell für Anwendungen in der Gasanalyse mit geringer Masse entwickelt, bei denen die Auflösung entscheidend ist. Sie bieten seit Jahrzehnten unübertroffene Leistung für die Nuklear-, Gasproduktions- und Brennstoffzellenindustrie.

Restgasanalysatoren (RGA), werden zur Identifizierung von Gasen in Vakuumumgebungen eingesetzt und arbeiten weltweit in Forschungslabors und industriellen Verarbeitungsanlagen.